为弘扬科学家精神，吉林科普微窗推出探索吉林特别栏目《院士在吉林》，为您讲述曾在吉林学习、工作过的两院院士故事，展现两院院士与这片白山黑水的深厚情缘。本期为您介绍沈天慧院士。

沈天慧（1923-2011）

浙江杭州人，1980年当选为中国科学院学部委员（院士），化学家。

沈天慧1949年毕业于上海大同大学化工系，同年考入中央研究院上海化学研究所。上海解放后，进入中科院从事分析化学研究。1957年赴苏联留学。1959年回国后，进入中科院长春应化所工作。1966年调入航天工业部771研究所，任第七研究室主任。1987年进入上海交通大学，任教授。

2011年1月2日在上海逝世。

沈天慧主要致力于分析化学、半导体化学方面的研究工作，曾参加过硫酸根的测定、包头含稀土铁矿的全分析、钼矿的全分析、地下水的全分析等科学研究。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966年至1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺，研制出大规模集成电路数种，当时在国内处于领先地位。1987年后，从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作，制造出直径为2mm的微马达。曾荣获全国科学大会奖、国防科工委重大科技成果奖二等奖、国家科技进步奖三等奖。

1956年，党中央制定了新中国第一个十二年科学发展规划，其中包括发展半导体事业。为跟上国际步伐，选中以硅材料研究为起步，当时国内这方面的研究还是空白。中科院等相关单位于1957年组成一个由物理、化学、冶金等科技人员组成的研究小组，到苏联莫斯科冶金研究所学习提取纯硅的技术，沈天慧正是其中一员。

在莫斯科的两年时间里，沈天慧深知责任重大，研究小组必须把成套的提纯硅的技术学到手才能完成国家发展规划提出的任务。所以她每天工作十几个小时。两年很快过去了。回国后，沈天慧进入中科院长春应用化学研究所工作，并建立了我国第一个三氯氢硅法制备高纯硅小组，开展了用三氯氢硅法研制半导体高纯硅。以两个“9”的粗硅为原料，用化学方法使其形成易挥发的氯化物，然后通过分储、吸附等手段将杂质分离出去，再用氢气将氯化物还原成硅，其纯度可达六个“9”以上。在那段日子里，沈天慧夜以继日，一天24小时跟班工作，由于条件艰苦，以致后来落下了严重的关节炎，但她基本掌握了当时还是世界科学尖端的半导体材料研制技术，研制成功高纯半导体材料硅，填补了国内空白，跟上国际步伐，开创了中国人自己研制高纯硅的历史。

1966年，沈天慧调入中科院156工程处（北京），1970年迁至陕西临潼县航天工业部771研究所，在随后的十年中，沈天慧一直从事硅材料器件的研制工作，开辟了磁叠片存储器和玻璃半导体记忆材料的研究领域，大规模集成电路的工艺研究做出了探索性和开创性的工作。

1987年，沈天慧作为上海最需要的人才之一被引进到上海交通大学工作，开始了新的研究领域。但她在生活上依然保持了一份朴实，居住在40平方米的一间房子里。卧室、会客室、书房全在一间房里，卫生间在阳台的角落里。虽然在上海生活了很多年，却只逛过一回南京路，家里也没有请钟点工，平常家务都是自己做。一次记者采访她，在谈到自己的学习、工作经历时，沈天慧语气平和地说：“我这个人喜欢生活简单一些，对事业专注些，人更容易快乐。”